質量流量控制器 SEC-400系列
概要
它是搭載有溫控閥的基本型號。
利用小型裝置的SEC-310，可以進行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且，利用SEC-623可以進行小于200SLM的大流量控制。
高精度型號：SEC-405可以進行±0.5％F.S.的流量控制。
特征
可對應±0.5％F.S.：SEC-405(氣體種類限定)
同系列產品，從0.1CCM至200SLM(N2)都可進行流量控制
實現(xiàn)面間距離106mm: SEC-300型式
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